CMZシリーズの超高精度座標測定機は、天準が製造する高級計測機器であり、固定橋梁構造を採用しており、サブミクロン精度の複雑な部品の超高精度検査および測定のニーズを満たすことができます。高効率かつ安定した性能を持ち、精密加工、組み立て、品質管理の実現に役立ちます。

主な特徴：
1.超高剛性の機械構造
固定橋梁型の高剛性機械構造で、花崗岩の梁、ベース、柱、および産業用精密材料、炭化ケイ素セラミックZ軸組み合わせを使用して、機械構造の安定性と外部干渉に対する耐性を確保します。
2.超高い安定性
各軸はプリロードされたエアベアリングとリング型レイアウトを採用しており、高剛性であり、接触がなく摩擦が少ないです。
膨張係数ゼロのグレーティングスケールを採用し、解像度はナノメートルレベルまで超高く、外部温度の影響を受けません。これにより、機械の高精度と安定性が保証されます。
3.自己開発の補償アルゴリズム
21種類の自己開発の誤差補償アルゴリズムを備えており、計測機は計測レベルの精度を実現することができます。