CMUシリーズの高精度CMMは、天準が生産する高級測定機器で、独自の片側高フレーム構造形式を採用しており、安定かつ信頼性の高い性能、高効率、高精度などの特徴を備えています。これにより、ほとんどのトリガリングおよびスキャン複雑な測定アプリケーションシナリオをカバーすることができます。
主な特徴：
1、安定した機械構造
・片側に上昇した移動ブリッジ設計で、移動質量が軽く、移動の重心に近い位置で駆動されるため、アベ誤差を減少させ、運動性能と精度の安定性を効果的に向上させます。高剛性かつ高性能のエアベアリングガイダンスを採用し、摩擦や摩耗がなく、すべての3軸が四方を囲む設計で、エアベアリング圧力監視機能も備えており、安定性を効果的に確保します。
・3軸は超低線温度膨張係数スケールを採用しており、温度変化に対して鈍感であり、全体の精度を効果的に向上させます。
2、新素材の適用
・主要な構造部品には高精度の炭化ケイ素セラミック材料を使用し、移動ブリッジはより軽量でありながら、より高い剛性と低い温度線膨張性能を持ち、精度と長期信頼性を大幅に向上させます。
3、安全性
Z軸はバランスシリンダーの空気論理保護とハードウェアホールドアップ保護の2つの保護機構を採用しており、緊急時に検出システムの安全性を確保することができます。