CMZ 시리즈 초고정밀 좌표 측정기는 티안준에서 생산한 고급 계측 장비로, 고정 다리 구조 형태를 채택하여 초미터급 정밀도를 가진 복잡한 부품의 초고정밀 검사 및 측정 요구를 충족시킬 수 있으며, 고효율과 안정적인 성능을 제공하여 정밀 가공, 조립 및 품질 관리를 실현하는 데 도움이 됩니다.

주요 특징:
1. 초고 강성 기계 구조
고정 다리형 고강성 기계 구조로, 화강암 빔, 베이스 및 기둥, 산업용 정밀 재료, 탄화규소 세라믹 Z축 조합을 사용하여 기계 구조의 안정성과 외부 간섭에 대한 저항성을 보장합니다.
2. 초고 안정성
각 축은 사전로드된 공기 베어링과 링형 배치를 채택하여 고강성, 비접촉 및 저 마찰을 구현합니다.
열팽창 계수 그레이팅 스케일을 채택하여 해상도가 초고로 나노미터 수준에 이르며, 외부 온도의 영향을 받지 않아 기계의 고정밀도와 안정성을 보장합니다.
3. 자체 개발 보상 알고리즘
21개의 자체 개발된 오차 보상 알고리즘을 사용하여 측정기는 계측 수준의 정확도를 실현할 수 있습니다.