CMU系列高精度三坐标测量机是天准生产的高端测量设备，采用独特的单侧高框架结构形式，具有稳定可靠的性能、高效率、高精度等特点，可以覆盖大部分触发和扫描复杂测量应用场景。
主要特点：
1、稳定的机械结构
。单侧升降移动桥设计，移动质量较轻，驱动更接近移动质心，减小阿贝误差，有效提高运动性能和精度稳定性。高刚度和高性能气体轴承导向，无摩擦无磨损，三个轴都采用四面环绕设计，具有气体轴承压力监测功能，有效保证稳定性。
。三个轴采用超低线温线性膨胀系数刻度，对温度变化不敏感，有效提高整机精度。
2、新材料应用
。关键结构部件采用高精度碳化硅陶瓷材料，移动桥在质量较轻的同时，具有更高的刚度和较低的温度线性膨胀性能，大大提高了精度和长期可靠性。
3、安全
Z轴采用两种保护机制：平衡气缸的气动逻辑保护和硬件支撑保护，可以确保在紧急情况下检测系统的安全性。